Experimental and Numerical Investigation of Nanoparticle Removal Using Acoustic Streaming and the Effect of Time
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摘要
本文结合实验与CFD模拟，研究用高频声流（megasonic）从裸硅与4 nm Si-cap表面去除63 nm PSL纳米颗粒的机制与时间效应，发现稀释SC1溶液可显著提高双电层排斥力与MR值，从而加快去除并在4 min（SC1）或6 min（DI水）实现接近完全去除；数值模拟表明纳米颗粒在被脱离后会发生震荡运动并多次再沉积，导致总体清洗时间显著延长[page::5][page::4].
