Fundamentals and Applications of Sonic Technology
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摘要
本章系统综述了声学（超声/兆声）清洗的原理、作用机制（空化与声流）、主要参数（频率、功率、溶液及溶解气体等）及其在微电子（晶圆/EUV掩膜）、医疗、海洋、生物和膜分离等行业的应用与优势；文献与图表表明：在微米及亚微米颗粒去除方面，兆声清洗在常见条件下显著优于传统旋洗/喷淋方法，并且合适的化学配方（如稀释SC‑1）与气含量可将颗粒去除效率提高到接近100%[page::1][page::38][page::40]。
